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发布时间:2020-10-14 10:50:40
特种气体属于工业气体的一种。工业气体是现代工业重要的基础原料,根据不同气体的生产工艺和用途,可以将工业气体分为特种气体、合成气体、空分气体三大类。气体产品大致可以分为两大类别, 即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。硅片的蚀刻气体(特种气体)主要是氟基气体,包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙1烷/氧气、三氟化氮等。
电子特种气体种类多,应用领域广泛。 电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5%~6%,但是由于其品种繁多,在半导体制程工艺中覆盖广泛,因此成为衡量半导体技术的核心产品。为了提高气体稳定性和保质期,天然1气公司已经开发出各种技术,以化任何局部活性位点在铝气瓶中催化表面的潜在效力,然后再填充特种气体。特种气体兴起于60年代中期,作为基础化工材料,主要运用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、临床诊断、水果催熟、食品保鲜等领域。随着新产品技术的发展,其应用范围也越来越广泛。
电子特种气体种类多样行业集中度高,细分领域整合开启进口替代新征程。2016 年***半导体行业用电子特种气体市场规模达到 36.8 亿美元,同比增长 5.7%;国内方面集成电路用电子特种气体需求约为 25 亿元,预计到 2020 年将突破 68 亿元。特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备,一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。灭菌特种气体的主要成分是环氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯,环氧乙1烷可杀灭细1菌(及其内孢子)、霉菌及真1菌,因此可用于消毒一些不能耐受高温消毒的物品。
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