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特种气体的杀菌

影响灭菌的因素　　

温度：

　　温度的常规极限一般在37℃～63℃，1常用的温度一般为50±5℃。但是当温度高到足以使药1物发挥1大作用时，在升高温度，则杀菌效果亦不再提高。灭菌温度的确定同以下条件有关：1）所灭产品的温度耐受性。2）装载量及装载方式，要求装载量≤80%，不接触柜壁，各箱体之间有不小于5cm的间隙。3）包装材料的厚度、大小，堆积密度。其基本流程是：气源→控制柜→管道传输→用气点分类特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易1燃易1爆气体、有***体和腐蚀性气体。

特种气体的分类

特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、shen系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。同时，以上分类存在交叉，例如四氯1化硅（SiCl4）既属于硅系气体，又属于外延气体，同时在化学气相沉积(CVD)中也存在应用。灭菌车间周围30-50米内不得有明火作业、变电设备及其他可发生火花的设备或操作。

特种气体在进样中的注意事项

取样管线的选择，由于胶管使用起来很方便，很多传统的进样管线都采用此类，但是众所周知，胶管对大部分有机气体，和含硫类的气体吸附性非常强，而且它的渗透性也很强，所以使用各类胶管来采样是不可取的，对分析数据造成很大偏差。建议根据不同的气体性质采用铜管、不锈钢管、四氟管而对于含硫的特种气和样品气***好采用内涂石英的不锈钢管。此外，每个丈量漏率都对应两个等效规范漏率，在细检完成后还需求选用其它办法进行粗检，扫除大漏的或许。

气体混装的合算从容器输运的安全来说，尽量避免与其它气体混装。在不得已混装时，按照下列方法进行合算。惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别***气体一般共用一个抽风系统。然后取出被检产品，将外表的剩余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会经过漏孔走漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，然后完成被检产品总漏率丈量。简单供气系统通常存在安全隐患。