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氦气质谱检漏的用方法

氦质谱检漏-真空法，真空法首要应用于真空密封功能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。真空法检测灵敏度高，能够准确***，能完成大容器或杂乱结构产品的检漏。特种气体：氦气氦气具有化学惰性，常被用做半导体工业的保护气和科学实验中的载体气。可是只能完成一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的实在走漏状况。

选用真空法检漏时，需求使用辅佐真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，选用氦罩或喷吹的办法在被检产品外外表施氦气，当被检产品外表有漏孔时，氦气就会经过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，然后完成被检产品走漏量丈量。依照施漏气体办法的不同，又能够将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。液氦温度极低，可为超导磁体提供低温环境，其中应用***广的为磁共振成像（MRI）。其间真空喷吹法选用喷枪的方式向被检产品外外表喷吹氦气，能够完成漏孔的准确***； 真空氦罩法选用有必定密闭功能的氦罩将被检产品悉数罩起来，在罩内充溢必定浓度的氦气，能够完成被检产品总漏率的丈量。

特种气体系统的设计与施工

辅助系统的设计

气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。由于氦气的液化温度很低，接近于绝1对零度，故其测温范围很广，多用于精密测量。

特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。

特种气体管道的施工

特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。

其现场基本的施工程序为：施工图纸会审﹣→施工***编写﹣→预制间的搭设﹣→施工机具的准备﹣→施工人员的培训﹣→预制图纸的编写﹣→管道的预制﹣→管道的现场安装﹣→系统检测﹣→系统验收