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特种气体系统的设计与施工

GMS和GDS系统

气体监控系统（GMS)通过计算机网络，实现对气体输送系统的实时监控，以确保系统的稳定性。

气体侦测系统（GDS）是全厂生命安全系统（LSS）的重要组成部分。对于侦测器的要求，除了精度高，反应迅速外，还应具备自检功能。对于这两个系统在这里只能做一个概念性的介绍。

后、充分了解气体特性、从而合理配置系统，合理选择管径和材料，是我们设计的***，这样可显著降低整个系统的成本。

电子特种气体的介绍

电子特种气体和半导体、平板显示、传感器等电子元器件制造业息息相关，与湿电子***一样是电子元器件的上游原材料之一。其广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺中，与生产设备配套使用。特种气体管道的施工施工管理和现场施工的几个注意点架设到管架上的管道，在焊接作业开始后就要采取不间断充气的方式，即从施工开始到施工结束管道内都要处于冲气保护的状态，但在不进行焊接作业时可适当调小管内气压。特别是在超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过450道，其中大约要使用50种不同种类的电子气体。

特种气体系统工程施工的一般性要求

特种气体系统使用的不锈钢管应采用全自动轨道焊机焊接，高纯***气保护。安装和试验检测用计量器具应检定合格并在有效期内使用。特种气体系统工程施工前必须编制专项施工方案，并经过业主审批后实施。主要设备材料进场应提供必要资料：产品合格证、质量保证书、性能测试报告；产品安装、使用、维护和试验要求等技术文件；产品规格、型号、数量、设备附件及专用工具。灭菌过程结束打开灭菌器时，必须先打开门窗及通风设备，室内环氧乙1烷气味很浓时，不得开启电灯照明及手电照明，防爆灯除外。

特种气体的应用

电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。

电子行业常用的特气超过三十余种，按***性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。