电子特种气体-石家庄特种气体-安徽谱纯 安全可靠

特种气体充装要点

一、永1久性气体的充装

1、***培训、持证上岗、遵守规程。

2、佩戴防护用品、检查设备。

3、对钢瓶复查、检查气密性。

4、开启总阀，准备充气。

5、充装时的检查。

6、发现问题的处理。

7、压力大于12.5MPa时，石家庄特种气体，禁止进入。

8、确定高充装压力。

9、切换总阀，分类堆放好。

基准温度：是由气体产品标准规定的基准充装标准温 度。我国规定是20℃

特种气体的运输

算出运输量

关于高压气体的运输规则，根据其运输量而有所不同。其运输量，可用如下方法算出。

(1)运输量的计算

运输量的计算是用一个容器的气体充填量乘上车上装载的容器个数。

容器的充填量，压缩气体用米3表示，特种气体公司，液化气体用公斤表示。

压缩气体 容器内容积(升)×充填压力(公斤／厘米2 )/1000=米3

液化气体 容器的充填质量(公斤)。

在半导体制造业中，可以把气体分成大宗气体和电子气体，电子特种气体，大宗气体是指集中供应且用量较大的气体，如N2、H2、O2、Ar、He等。电子气体主要是半导体制造中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相沉积，扩散等过程中使用的各种化学气体，如高纯NF3、SiH4、WF6、HCl、***F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、***F8、N2O等，特种气体价格，又可称为电子特种气体。电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，由于所用气体的品种多、质量要求高，为有别于其它领域应用的气体。