南京特种气体-安徽谱纯 纯度高-特种气体生产厂家

在半导体制造业中，可以把气体分成大宗气体和电子气体，南京特种气体，大宗气体是指集中供应且用量较大的气体，如N2、H2、O2、Ar、He等。电子气体主要是半导体制造中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相沉积，扩散等过程中使用的各种化学气体，如高纯NF3、SiH4、WF6、HCl、***F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、***F8、N2O等，又可称为电子特种气体。电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，由于所用气体的品种多、质量要求高，为有别于其它领域应用的气体。

特种气体存放

针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，高纯度特种气体公司，通常设计将钢瓶置于特气柜内，再通过管道将气体供应至现场附近的阀门箱，而后再进入制程机台的使用点，特种气体生产厂家，于进入机台腔体之前，会有***的气体控制盘与制程控制模块联机，以质流流量计控制器进行流量之控制与进气的混合比例控制，通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴，而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀门盘进行供应。

特种气体系统的设计与施工

管道系统的设计

1.材料的选择

特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光（EP）管道，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、（＜0.003微米）、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 。

2.主管路系统的设计

在确定好气体房和用气点以后，主管路系统一般遵循管道线路1短，拐弯少，布置紧凑合理，给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定，基本都采用小管径输送（1/4-3/4）而且多设计了备用系统。