特种气体价格-多年经验「多图」

特种气体系统的设计与施工

辅助系统的设计

气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。

特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。

特种气体的运输

算出运输量

气体混装的合算

从容器输运的安全来说，1好尽量避免与其它气体混装。在不得已混装时，按照下列方法进行合算。

(1)混装压缩气体状态的可燃、有***体时；

可燃气体量(米3 )／300 有***体量(米3 )／1O0

(2)混装压缩气体状态的可燃气和液化气体状态的有***时：

可燃气体量(米3 )／300 有***体量(公斤)／1000

特种气体的杂质检测和监控

随着电子特气的纯度越来越高，对分析检测方法和仪器提出了更高的要求，检测限从***早的ppm级已经发展到ppt级。目前国外电子气体的分析己经经历了离线分析、在线分析(on-line)，原位分析(insitu)等几个阶段。对于高纯度电子气体的分析，国外已开发出系统完整的分析测试方法和现场分析仪器。可是这种检漏体系杂乱，需求依据被检产品的容积和形状设计真空密封室，在检漏过程要求确保充气管道接口无走漏，或者采取特别的结构设计将一切充气管道衔接接口放置在真空密封室外部。而由于我国电子特气行业一直***产而轻检测，因此分析方法和分析仪器同国外厂商相比都比较落后。