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发布时间:2020-07-29 23:21:54
特种气体管道试压
1、试压时应将压力缓慢升至试验压力,并注意观察管道各部分情况,如发现问题,应卸压后进行修理,禁止带压修理。缺陷消除后重新试压。
2、当进行压力试验时,应划定禁区,无关人员不能进入,防止伤人。
3、对于剧1毒管道及设计压力P≥10Mpa管道,压力试验前应按规范要求将各项资料经设计单位复查,确认无误。
4、管道系统试验合格后,应及时填写“管道系统压力试验记录”,有关人员签字确认。
电子特种气体的介绍
电子特种气体和半导体、平板显示、传感器等电子元器件制造业息息相关,与湿电子***一样是电子元器件的上游原材料之一。其广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺中,与生产设备配套使用。灭菌过程结束打开灭菌器时,必须先打开门窗及通风设备,室内环氧乙1烷气味很浓时,不得开启电灯照明及手电照明,防爆灯除外。特别是在超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中,全部工艺步骤超过450道,其中大约要使用50种不同种类的电子气体。
特种气体间 speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备,并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。特种气体是光电子、微电子等领域,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子。该办法检测灵敏度高,能完成任何工作压力的漏率检测,反映被检件的实在走漏状况。
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