高纯度特种气体-安徽谱纯 安全可靠-泉州特种气体

特种气体的介绍

主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测。气体合成是将原料在特定压力、温度、催化剂等条件下，泉州特种气体，通过化学反应得到气体粗产品。气体纯化是通过精馏、吸附等方式将粗产品精制成更高纯度的产品。

应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，其中常用的有20～30种。

特种气体间 speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，高纯度特种气体，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。特种气体是光电子、微电子等领域，特种气体供应，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子。

特种气体的分类

近年来我国微电子、光电子等电子信息产业高速发展，促使这一块所需使用气体的飞速发展。由于微电子、光电子产业对气体的使用要求极高，所以我们特将这个领域所使用的特种气体叫电子特气。电子特气的使用行业主要有太阳能电池片、半导体发光二极管（LED）、液晶面板、光纤、IC、半导体分立器件、线路板等行业。主要包括：

1、硅族气体：含硅基的硅i烷类。

2、掺杂气体：含硼、磷、shen等三族及五族原子之气体。

3、蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主。

4、反应气体：以碳系及氮系氧化物为主。

5、金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属。