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发布时间:2020-06-27 09:07:26
特种气体管道的施工
特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接,同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序,对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。
预制间的选择
特种气体管道的施工对环境的要求比较高,管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。按照标准,预制作业需要在洁净度达到百级的净化间进行,作业人员也按照百级净化间的管理着装。因此对于特气项目,一般都建有一个标准的预制间。
特种气体的运输
算出运输量
气体混装的合算
从容器输运的安全来说,1好尽量避免与其它气体混装。在不得已混装时,按照下列方法进行合算。
(1)混装压缩气体状态的可燃、有***体时;
可燃气体量(米3 )/300 有***体量(米3 )/1O0
(2)混装压缩气体状态的可燃气和液化气体状态的有***时:
可燃气体量(米3 )/300 有***体量(公斤)/1000
特种气体:高纯氯1气
高纯氯1气应用
高纯氯1气主要用于液晶平板显示器、光纤和半导体行业,被用作蚀刻气体和脱水剂,而其中光纤行业用量较大。光纤1主要参数是损耗,无论是石英光纤还是浮化玻璃光纤中的损耗,主要是由OH-阴离子、过渡金属离子和稀土金属离子引起的。因为光散射、光吸收主要是由OH-产生的,所以必须脱除光纤中的OH-离子。压缩气体容器内容积(升)×充填压力(公斤/厘米2)/1000=米3液化气体容器的充填质量(公斤)。为了降低损耗,处需要光纤制造系统精良和所有原材料纯度高外,其关键是在制造光纤工艺中通入高纯氯1气,有效除去OH-离子。因此,高纯氯1气是生产光纤不可或缺的原材料。
特种气体的介绍
主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测。气体合成是将原料在特定压力、温度、催化剂等条件下,通过化学反应得到气体粗产品。气体纯化是通过精馏、吸附等方式将粗产品精制成更高纯度的产品。
应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。
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