电子特种气体-***配置

特种气体系统：

主管路系统的设计

对于低蒸汽压气体（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精1确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧1毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。***后管道还要有良好的接地。

特种气体的分类

特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、shen系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。特种气体系统的设计与施工GMS和GDS系统气体监控系统（GMS)通过计算机网络，实现对气体输送系统的实时监控，以确保系统的稳定性。同时，以上分类存在交叉，例如四氯1化硅（SiCl4）既属于硅系气体，又属于外延气体，同时在化学气相沉积(CVD)中也存在应用。

特种气体的用途

1、气体产品质量控制。气体分析仪器用标准气为定量标准保证测量结果的准确性，从而控制气体产品质量符合***或行业标准

2、报警仪器的检定与校准。

3、大气环境污染监测。定期校准用于环境监测的各类仪器仪表。

4、医1疗卫生及临床化验。如血液气体分析、肺功能测定、***培养、呼吸代谢测定、放1射性示踪器、外1科激光手续、孕妇分娩等。。

5、建筑家居环境监测。校准用于检测室内建筑装饰装修材料中的***物质，如甲1醛、氨等的仪器设备。