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特种气体管道

气体渗透性：

气体从压力(或分压力)高的一侧透过材料向压力(或分压力)低的一侧流入的现象成为气体渗透。 因为空气中氧气和氮气分压力***1大、气体分子相对较小，管道材料对气体的渗透性主要表现氧气和氮气的渗透 ， 一般对氧气的渗透测试比较多。

特气管道试压

　　1、管道试压前应全1面检查、核对已安装的管子、管件、阀门、紧固件以及支架等，质量应符合设计要求及技术规范的规定。

　　2、管道试压应编制试验方案，根据工作压力分系统进行试压。一般对于同向大气的无压管线，如放空管、排液管等可不进行试压。

特种气体的主要生产工序

包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测。气体合成是将原料在特定压力、温度、催化剂等条件下，通过化学反应得到气体粗产品。气体纯化是通过精馏、吸附等方式将粗产品精制成更高纯度的产品。

气体混配是将两种或两种以上有效组分气体按照特定比例混合，得到多组分均匀分布的混合气体。

气瓶处理是根据载气性质及需求的不同，对气瓶内部、内壁表面及外观进行处理的过程，以保证气体存储、运输过程中产品的稳定。气体充装是指通过压力差将气体充入气瓶等压力容器；气体分析检测即为对气体的成分进行分析、检测的过程。

特种气体的介绍

主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测。气体合成是将原料在特定压力、温度、催化剂等条件下，通过化学反应得到气体粗产品。气体纯化是通过精馏、吸附等方式将粗产品精制成更高纯度的产品。

应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20～30种。