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发布时间:2020-05-06 14:14:00
特种气体的应用
电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。
电子行业常用的特气超过三十余种,合肥特种气体,按***性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。
特种气体管道试压
1、试压前将不能与管道一起试压的设备及压力系统不同的管道系统用盲板隔离,特种气体供应商,应将不宜与管道系统一起试压的管道附件拆除。临时装上短管。
2、管道上所有开口应封闭,系统内的阀门应开启;系统***1高点应设放气阀,***1低点应设排水阀。
3、试压时,特种气体厂,应用精度等级1.5级以上的压力标2只,表的量程应为***1大被测压力的1.5~2倍,一只装在试压泵出口,另一只装在本系统压力波动较小的其他位置。
特种气体的分类
近年来我国微电子、光电子等电子信息产业高速发展,促使这一块所需使用气体的飞速发展。由于微电子、光电子产业对气体的使用要求极高,所以我们特将这个领域所使用的特种气体叫电子特气。电子特气的使用行业主要有太阳能电池片、半导体发光二极管(LED)、液晶面板、光纤、IC、半导体分立器件、线路板等高精尖行业。主要包括:
1、硅族气体:含硅基的硅i烷类。
2、掺杂气体:含硼、磷、shen等三族及五族原子之气体。
3、蚀刻清洗气体:以含卤化物及卤碳化合物为主。
4、反应气体:以碳系及氮系氧化物为主。
5、金属气相沉积气体:含卤化金属及有机烷类金属。
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