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特种气体:高纯氯1气

高纯氯1气制取方法

高纯氯的生产方法仍以工业氯为原料，吸附净化。工业液1氯中的杂质含量较多，欲制得高纯氯必须把原料氯中的H2O、O2、N2、CO2、CO、H2、CH4等除去，除H2O外其余杂质的沸点均低于氯，故用物理吸附法除去H2O和CO2；冷凝分离法除去O2、N2、H2、CO、CH4等。但氯不仅剧1毒，且具有强氧化、强腐蚀的异常活泼的化学性质，除少数稀有气体外，几乎能与所有元素形成化合物。在这里要特别提出的是对输送强腐蚀性气体的耐腐蚀性强的VM管进行对接施焊时，其充气时间必须要达到4-5分钟，而且必须不间断充气。因此要筛选不受氯腐蚀、不与氯起化学反应的干燥剂、吸附剂，以及这些吸附剂的化学处理、再生等。

特种气体的作用：

1、做保护介质，通常使用氦气、***气、氮气用于高纯净、超绝缘、超导等。

2、能量介质，主要用到氢气、氧气等，是航空航天的重要燃料。

3、反应及中和介质，在精细化工、生物医1疗中用于反应、保护等。

4、冷冻和保鲜介质，常用液氮、二氧化碳等用于食品加工。

5、综合手段与介质，应用于制造业的成型保护、核反应堆的保护、电光源照明行业和吹扫等。

特种气体的杂质检测和监控

随着电子特气的纯度越来越高，对分析检测方法和仪器提出了更高的要求，检测限从***早的ppm级已经发展到ppt级。目前国外电子气体的分析己经经历了离线分析、在线分析(on-line)，原位分析(insitu)等几个阶段。对于高纯度电子气体的分析，国外已开发出系统完整的分析测试方法和现场分析仪器。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定，基本都采用小管径输送（1/4-3/4）而且多设计了备用系统。而由于我国电子特气行业一直***产而轻检测，因此分析方法和分析仪器同国外厂商相比都比较落后。