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特种气体系统的设计与施工

特气供气系统

大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。②高压气体输运监视人学习结业证(必要时)}③输运计划书(或输运注意事项)，：④车辆运行日记及其它业务上必要的文件。它们的***规模巨大，采用***1***的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出***严格的要求。

特种气体的杀菌

安全与环保

1.灭菌过程中严禁穿有钉的鞋进入现场，严禁操作现场抽烟，以防引起爆1炸事故

2.操作过程中，密切注意压力、温度变化，随时进行调整

3.灭菌过程结束打开灭菌器时，必须先打开门窗及通风设备，室内环氧乙1烷气味很浓时，不得开启电灯照明及手电照明，防爆灯除外。

4.灭菌结束后排放的环氧乙1烷残余气体应进行妥善处理并符合环保要求。

特种气体:高纯氯1气

高纯氯1气制取方法

高纯氯的生产方法仍以工业氯为原料，吸附净化。工业液1氯中的杂质含量较多，欲制得高纯氯必须把原料氯中的H2O、O2、N2、CO2、CO、H2、CH4等除去，除H2O外其余杂质的沸点均低于氯，故用物理吸附法除去H2O和CO2；冷凝分离法除去O2、N2、H2、CO、CH4等。选用真空法检漏时，需求使用辅佐真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，选用氦罩或喷吹的办法在被检产品外外表施氦气，当被检产品外表有漏孔时，氦气就会经过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，然后完成被检产品走漏量丈量。但氯不仅剧1毒，且具有强氧化、强腐蚀的异常活泼的化学性质，除少数稀有气体外，几乎能与所有元素形成化合物。因此要筛选不受氯腐蚀、不与氯起化学反应的干燥剂、吸附剂，以及这些吸附剂的化学处理、再生等。