特种气体厂-安徽谱纯(在线咨询)-东莞特种气体

特种气体的杂质检测和监控

随着电子特气的纯度越来越高，对分析检测方法和仪器提出了更高的要求，检测限从***早的ppm级已经发展到ppt级。目前国外电子气体的分析己经经历了离线分析、在线分析(on-line)，东莞特种气体，原位分析(insitu)等几个阶段。对于高纯度电子气体的分析，特种气体生产厂家，国外已开发出系统完整的分析测试方法和现场分析仪器。而由于我国电子特气行业一直***产而轻检测，因此分析方法和分析仪器同国外厂商相比都比较落后。

特种气体系统：

管道系统的设计

材料的选择

特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光（EP）管道，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、（＜0.003微米）、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 .

辅助系统的设计

气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。

特种气体管道试压

1、试压时应将压力缓慢升至试验压力，特种气体厂，并注意观察管道各部分情况，如发现问题，应卸压后进行修理，禁止带压修理。缺陷消除后重新试压。

2、当进行压力试验时，应划定禁区，工业特种气体，无关人员不能进入，防止伤人。

3、对于剧1毒管道及设计压力P≥10Mpa管道，压力试验前应按规范要求将各项资料经设计单位复查，确认无误。　　

4、管道系统试验合格后，应及时填写“管道系统压力试验记录”，有关人员签字确认。

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